レジスト現像液
Product
DFR
PSR
PAMプロセスA/B
シリーズ
アルカリ可溶型DFR、DIDFR、PSRの現像処理に使用できます！
製品の特長
□現像時の槽内に発生する固化物や不溶性生成物（スカム）の不具合を抑制できます。
□従来設備でそのまま御使用頂け、ライン条件等の変更の必要はありません。
用途・目的
レジスト現像管理システム専用アルカリ型現像液。
※槽汚染に起因する不具合改善に適しています。
適応及び推奨工程
レジスト現像処理工程
番定・製品名・用途・特性
□ PAMプロセスシリーズ
| 製品名 | 適応用途 | 化学的特性 | 荷姿入目 |
|---|---|---|---|
| PAMプロセスＡ | レジスト現像液 | 液体／アルカリ性 | ロンテナ20kg |
| PAMプロセスB | 希釈使用する補給槽用補充剤 | 濃縮液体／中性 | ロンテナ10kg／ロンテナ20kg |
PAMプロセスA/B
炭酸ソーダ